VTM真空傳輸模塊是半導體高端制造的核心樞紐，其核心功能是在真空環境下實現晶圓在EFEM（大氣端）與PM（真空端）之間的高速，無污染傳輸。XIVI的真空傳輸模塊搭載DD直驅真空機械手可實現高精度定位，同時為晶圓傳輸提供高潔凈的傳輸環境。另外，XIVI可提供客制化方案，滿足客戶不同需求。