VTM真空傳輸模塊是半導(dǎo)體高端制造的核心樞紐，其核心功能是在真空環(huán)境下實(shí)現(xiàn)晶圓在EFEM（大氣端）與PM（真空端）之間的高速，無污染傳輸。XIVI的真空傳輸模塊搭載DD直驅(qū)真空機(jī)械手可實(shí)現(xiàn)高精度定位，同時(shí)為晶圓傳輸提供高潔凈的傳輸環(huán)境。另外，XIVI可提供客制化方案，滿足客戶不同需求。