直線型機(jī)械手是一款用于晶圓傳輸、單臂運(yùn)動的潔凈機(jī)械手，專為半導(dǎo)體制造環(huán)境設(shè)計。軟件算法實(shí)現(xiàn)的插補(bǔ)軸的聯(lián)動控制，可實(shí)現(xiàn)末端高精度平滑軌跡運(yùn)動，確保晶圓的穩(wěn)定、高效傳輸。