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SMIF

半導體自動化


特征
1699406847913470.png符合 SEMI 標準  
1699406847913470.png晶圓映射（有無、疊片、斜片）檢測
1699406847913470.png晶圓突片檢測
1699406847913470.pngSMIF POD 存在檢測和放置檢測
1699406847913470.png搬運系統切換靈活



選配
1699406847913470.pngE84
1699406847913470.png外部I/O對應
1699406847913470.png采用TCP/IP通信
1699406847913470.png6" / 8" 晶圓
1699406847913470.png可對應smart tag reader、 RF-ID Reader










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