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采用直驅伺服電機的潔凈機械手、 Aligner，實現高Throughput。 Loadport可在Frame的前后和兩側增加各種Unit。可以和OHT和Stocker直接對接。


1699406847913470.png兼容200mm/300mm Wafer 
1699406847913470.png多種取放片方式可選
1699406847913470.png可讀取Wafer上、下面ID 
1699406847913470.pngOHT、Stocker可對應 
1699406847913470.png可選配邊緣檢測功能 






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