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SORTER

晶圓傳輸

采用直驅(qū)伺服電機(jī)的潔凈機(jī)械手、Aligner,實(shí)現(xiàn)高Thoughtput。Loadpor可在Frame的前后和兩側(cè)增加各種Unit。可以和OHT和Stocker直接對接。


1699406847913470.png兼容200mm/300mm Wafer  
1699406847913470.png多種取放片方式可選 
1699406847913470.png可讀取Wafer上、下面ID 
1699406847913470.pngOHT、Stocker可對應(yīng) 
1699406847913470.png可選配邊緣檢測功能 






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SPECIFICATIONS

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