大氣晶圓傳輸機(jī)械手（下文簡稱“機(jī)械手”）適用于大氣潔凈室環(huán)境，由本體、手臂以及片叉（選配）構(gòu)成，通過吸附、夾持等方式，以及各關(guān)節(jié)的循環(huán)運動實現(xiàn)晶圓的傳輸功能。機(jī)械手的運動分為升降運動（Z軸）、旋轉(zhuǎn)運動（T軸）、手臂伸縮運動（R/W軸）。