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ROBOT STR

晶圓傳輸

五軸半導(dǎo)體晶圓搬運(yùn)機(jī)器人,具有獨(dú)立可控的2個(gè)旋轉(zhuǎn)手臂。可支持2 FOUP到3 FOUP的EFEM的取片工作。該機(jī)器人具有高精度,高剛性。






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