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晶圓傳輸


特征
1699406847913470.png可對應標準FOUP 和 Auto Door FOSB  
1699406847913470.png獨創的開門系統和精密的動作控制，實現高潔凈度性能



選配
1699406847913470.pngE84
1699406847913470.pngInfo pad pin 和 Lockout pin
1699406847913470.png外部I/O對應
1699406847913470.png采用TCP/IP通信
1699406847913470.png指示燈可定制
1699406847913470.png200mm/300mm對應
1699406847913470.png可對應Barcode Reader、 RF-ID Reader









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