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EFEM

晶圓傳輸


特征
1699406847913470.png通過選配2臺Aligner可以達到高Throughput 
1699406847913470.png真空吸附式取放片和邊緣夾持式取放片(可選)
1699406847913470.png可兼容200/300mm (可選)
1699406847913470.pngOHT、Stocker可對應



選配
1699406847913470.pngE84
1699406847913470.pngOCR
1699406847913470.pngIonizer  
1699406847913470.pngAutoteaching
1699406847913470.pngTeaching pendant
1699406847913470.pngChemical Filter
1699406847913470.png可對應Barcode Reader、 RF-ID Reader


EFEM
SPECIFICATIONS

規格表0808更新.jpg

SPECIFICATIONS

規格表0808更新.jpg

為獨特需求,量身定制,確保每次都是完美匹配。
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