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特征
1699406847913470.png選配2臺Aligner可以達到高Throughput
1699406847913470.png取放片可選真空吸附式/邊緣夾持
1699406847913470.png可兼容200/300mm 
1699406847913470.pngOHT、Stocker可對應



選配
1699406847913470.pngE84
1699406847913470.pngOCR
1699406847913470.pngIonizer  
1699406847913470.pngAutoteaching
1699406847913470.pngTeaching pendant
1699406847913470.pngChemical Filter
1699406847913470.png可對應Barcode Reader / RF-ID Reader


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