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ABXY

機電一體化

ABXY-ZT4系列平臺是一款具有六自由度的氣浮、機械運動平臺。專為后道曝光機及晶圓檢測、切片、退火等要求嚴格的半導體工業設計而設計。


1699406847913470.pngX、Y采用氣浮軸承，運行平穩  
1699406847913470.pngT軸：任意微轉動，用于調平
1699406847913470.png雙驅步進軸具有被動減震模塊
1699406847913470.pngZ軸：快速、精準的對焦運動




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