VXT
機電一體化
VXT系列平臺由直線交叉滾子軸承、直線電機和一個非接觸式線性編碼器組成。這個系列平臺采用了中心驅(qū)動的無鐵心運動，它能產(chǎn)生零齒槽效應，以確保平穩(wěn)地控制速度并進一步提高運行效率。該系列的平臺高速性能優(yōu)良和準確。
| VXT I-L SERIES 特征 | |
 | 高分辨率（1nm)，高重復定位精度(75nm)和高定位精度(250nm) |
| 具有納米級性能并且行程較長 |
| 運動誤差小、穩(wěn)定精度高 |
| 具有抗蠕變特性 |
| 高動態(tài)特性 |
| VXT I-XY SERIES 特征 | |
| 高分辨率(1nm)，高重復定位精度(75nm)和高定位精度(250nm) |
| 具有高度集成化的XY直線電機納米平臺 |
| 具有納米級性能并且行程較長 |
| 運動誤差小，穩(wěn)定精度高 |
| 具有抗蠕變特性 |
| 直接驅(qū)動技術的高動態(tài)性能 |
