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VMZT

精密控制

VMZT系列平臺是一款具有四自由度的機械運動平臺。專為后道曝光機及晶圓檢測相關的要求嚴格的半導體工業設計而設計。



VMZT
SPECIFICATIONS

VMZT-100.jpg

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為獨特需求,量身定制,確保每次都是完美匹配。
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